MICI 200 Beschreibung
Das Mikrometerschrauben-Piezosystem MICI 200 basiert auf einem Hochleistungs-Piezoantrieb mit Wegübersetzung, der einen Bewegungsbereich von bis zu 250 µm im offenen Regelkreis (ohne Rückkopplung) ermöglicht.
Der Piezoaktor bewegt mittels Festkörpergelenksystem die Mikrometerschraube nanometergenau, die zur Grobpositionierung des Linearsystems eingesetzt wird. Somit kann die Positioniergenauigkeit von Linearsystemen deutlich verbessert werden. Die erreichbare Auflösung liegt im sub-nm-Bereich.
Der Vorteil der MICI Systeme liegt in der einfachen, auch nachträglichen Montage in ein vorhandenes System, um dessen Auflösung in den sub-nm-Bereich zu verbessern.
Technische Daten
MICI Serie | EINHEIT | MICI 200 |
---|---|---|
Art. # | S-703-00 | |
Achse | X | |
Hub Open Loop (±10%)* | μm | 250 |
Auflösung Open Loop** | nm | 0.56 |
Maße (L x B x H) | mm | 85 x 28 36.5 |
Gewicht | g | 280 |