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MICI 200

Beschreibung

Das Mikrometerschrauben-Piezosystem MICI 200 basiert auf einem Hochleistungs-Piezoantrieb mit Wegübersetzung, der einen Bewegungsbereich von bis zu 250 µm im offenen Regelkreis (ohne Rückkopplung) ermöglicht.

Der Piezoaktor bewegt mittels Festkörpergelenksystem die Mikrometerschraube nanometergenau, die zur Grobpositionierung des Linearsystems eingesetzt wird. Somit kann die Positioniergenauigkeit von Linearsystemen deutlich verbessert werden. Die erreichbare Auflösung liegt im sub-nm-Bereich.

Der Vorteil der MICI Systeme liegt in der einfachen, auch nachträglichen Montage in ein vorhandenes System, um dessen Auflösung in den sub-nm-Bereich zu verbessern.

Technische Daten

MICI SerieEINHEITMICI 200
Art. # S-703-00
AchseX
Hub Open Loop (±10%)*μm250
Auflösung Open Loop**nm0.56
Maße (L x B x H)mm85 x 28 36.5
Gewichtg280
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen (closed loop: NV 40/3 CLE Controller). **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

MICI 140

Beschreibung

Die Mikrometerschraubenpositionierer Serie MICI 140 ist kompatibel mit Mikrometermessschrauben der Serie G 7.5 x 24, G 7.5 x 16.5, G 10, G 15, G 25 und G 50 der Qioptiq Photonics GmbH & Co KG.

Die neuen Systeme bieten in Hinsicht auf Design und Resonanzfrequenz herausragende Eigenschaften. Die Mikrometerschraubenpositionierer MICI 140 bieten einen Stellbereich von 140 µm im ungeregelten Betrieb, bei Resonanzfrequenzen von > 900 Hz.

Das optionale Wegmesssystem garantiert eine extrem hohe Positionsstabilität und eine hohe Wiederholbarkeit. Die Positionierer arbeiten auch bei tiefen Temperaturen, verbunden mit einer verringerten Ausdehnung der Keramik.

Technische Daten

MICI SerieEINHEITMICI 140MICI 140 SG
Art. # S-705-00 (S-706-00)S-705-01 (S-706-01)
AchseXX
Hub Open Loop (±10%)*μm140140
Hub Closed Loop (±0.2%)*μm100
Auflösung Open Loop**nm0.30.3
Auflösung Closed Loop**nm5
Maße (L x B x H)mm47 x 14 x 30.447 x 14 x 30.4
Gewichtg120125
*Typischer Wert mit NV 40/3 Controller gemessen (closed loop: NV 40/3 CLE Controller). **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.

MICI 80

Beschreibung

Der Mikrometerschraubenpositionierer MICI 80 verbessert die Positioniergenauigkeit von Linearsystemen, welche mittels Mikrometerschraube oder Schrittmotor angetrieben werden, auf einfache und kostengünstige Weise.

Der Mikrometerschraubenpositionierer MICI 80 basiert auf einem piezo-elektrischen Antrieb mit Festkörpergelenken. Es ermöglicht eine Auflösung im sub-nanometer Bereich in der Bewegungsrichtung. Dabei erzeugt die MICI 80 Kräfte bis max. 216 N.

Der Vorteil der Mikrometerschraubenpositionierer MICI liegt in der einfachen, auch nachträglichen Montage in ein vorhandenes System, um dessen Auflösung in den sub-nm-Bereich zu verbessern. Bei der Montage ist zu beachten, dass der Stellbereich der verwendeten Mikrometerschraube kleiner ist, als der Verfahrweg des genutzten Lineartisches.

Technische Daten

MICI SerieEINHEITMICI 80MICI 180
Art. # S-702-00S-704-00
AchseXX
Hub Open Loop (±10%)*μm80180
Auflösung Open Loop**nm0.10.4
Maße (L x B x H)mm64 x 27 x 33.564 x 27 x 35.4
Gewichtg180165
*Typischer Wert mit NV 40/3 Contoller gemessen (closed loop: NV 40/3 CLE Controller). **Auflösung nur durch das Rauschen von Verstärker und Messtechnik begrenzt.