Piezoaktoren für die Halbleiterindustrie

Waferproduktionsprozesse wie Stealth Dicing, Lithografie, Dotierung, Implantierung und Planarisierung erfordern die präzise Positionierung größerer Substrate. Unser 12″-Z-Achsen-System wurde entwickelt, um Wafer hochpräzise zu positionieren und diese Position mit ebensolcher Präzision zu halten und wiederherstellen zu können.
Unser 3-Achsen-Positioniersystem bietet spielfreie Bewegungen in XYZ mit einem Verfahrbereich von bis zu 100 μm. Damit eignet es sich ideal für anspruchsvolle AFM- und Scan-Anwendungen.

Halbleiter-Anwendungen
Feuchtigkeitsresistente Faserschalter

Durch das Aufbringen einer Silikonbeschichtung auf die internen Komponenten sind die Systeme vor hoher Luftfeuchtigkeit geschützt. Dies erhöht ihre Fähigkeit, einer relativen Luftfeuchtigkeit von bis zu 98 % standzuhalten, bevor sie ausfallen.

Faseroptische Schalter
FSM-Piezolösungen für die Raumfahrt

Der Weltraum kann eine schwierige Umgebung sein – nicht jedoch für piezoelektrische Aktoren. Unsere schnelllenkende Spiegelantriebstechnologie ist immun gegen magnetische Einflüsse und strahlungstolerant – eine perfekte Lösung für Satelliten und Raumfahrzeuge. Die kompakten und leichten Spiegelantriebe von piezosystem jena werden derzeit für den Einsatz in optischen Kommunikationsendgeräten der nächsten Generation qualifiziert.

Anwendungen in der Luft- und Raumfahrt
Ihr OEM-Partner für Piezo-Lösungen

Seit seiner Gründung 1991 bietet piezosystem jena umfangreiches Wissen und fundierte technische Expertise der Piezotechnologie in der Anwendung, Konstruktion und Entwicklung von Nanopositionierern. Zusätzlich zu unserem umfangreichen Katalog an COTS-Produkten bieten wir kundenspezifische Lösungen und Beratung für Ihre individuellen Anwendungen an. So entstehen langjährige und profitable Partnerschaften für beide Seiten.

OEM Lösungen
Whitepaper: Beyond Microscopy – MIPOS in Industrieanwendungen

Halbleiterhersteller entwickeln Chips mit Strukturen von bis zu 4 Nanometern. Dies erfordert Positionierungssysteme mit höchster Präzision.

MIPOS Whitepaper
Piezolösungen für photonische Anwendungen

Die Ausrichtung von Laserstrahlen, die Positionierung von Mikroskopobjektiven und die Feinjustierung von Proben erfordern präzise und schnelle Bewegungen. Basierend auf dem inversen piezoelektrischen Effekt bieten die Produkte von piezosystem jena im Vergleich zu anderen Lösungen auf dem Markt einzigartige technische Eigenschaften, wie z.B. Sub-Nanometer-Auflösungen, sofortige Positionierung und hohe Zuverlässigkeit. Erhältlich in Konfigurationen mit offenem und geschlossenem Regelkreis, können unsere Produkte selbst die anspruchsvollsten Positionieraufgaben in der Photonikindustrie erfüllen.

Photonische Anwendungen

Präzisionslösungen für Hersteller von Halbleitern

Whitepaper: Beyond Microscopy – MIPOS in Industrieanwendungen

Unsere Produktlinien

Schnelle Piezo-Spiegelpositionierer

Unsere Piezo-Kippaktoren sind schnell, kompakt, leicht und vor allem zuverlässig. Dank ihres einzigartigen Designs mit hoher Steifigkeit zeigen sie sofortige Reaktionen, kurze Einschwingzeiten und können im kHz-Bereich oszillieren.

Spiegelkippsysteme

Piezoelektrische Aktoren

Ein piezoelektrischer Aktor ist ein hochpräzises keramisches Bauelement, das elektrische Energie in lineare Ausdehnung umwandelt. Diese Festkörperaktoren werden mittels inverser piezoelektrischer Technologie gesteuert und bieten hohe Geschwindigkeiten und Kraftbewegungen mit sub-nm-Auflösung.

Stapelaktoren

Piezogesteuerte Faserschalter

Unsere Faserschalter bieten bis zu 9 Kanäle, die innerhalb von Millisekunden geschaltet werden können. Gesteuert durch piezoelektrische Aktoren, haben unsere Faserschalter keine internen optischen Komponenten und vermeiden daher jede Form von optischer Aberration.

Faseroptische Schalter

Piezo Motion Control

Präzise Analyse von großen Objekten ist traditionell eine Herausforderung. Positionierungssysteme waren entweder sehr präzise bei kleinen Bewegungen oder schnell auf großen Verfahrwegen – aber nicht beides. Die Piezotechnologie bietet eine Lösung, die Präzision und Schnelligkeit auf großen Verfahrwegen kombiniert.

Scanius 2 System

Entdecken Sie die Welt von Piezosystem jena

neue serie

Neue PAHS-Serie – Aktoren mit 4-fachem Hub. Modelle mit offenem und geschlossenem Regelkreis.

PAHS Aktoren

digitaler Piezocontroller

XYZ Nano-Positioner

Hochleistungsaktor

Piezoelektrischer Shaker PiSha

Piezo-Shaker
MIPOS 100 Piezo Objective Positioner

Mikroskop-Objektivpositionierer

MIPOS 100

MIPOS 100

High Power Aktoren von piezosystem jena

Besuchen Sie hpowermotion.com

Skalierbarkeit für Industrielösungen

OEM Fertigung

Als führender Anbieter von OEM-Piezotechnologie-Lösungen arbeitet piezosystem jena eng mit der Halbleiter-, Photonik- und Luftfahrtindustrie zusammen. Forschungsingenieure arbeiten konsequent mit Industrieexperten an der Entwicklung der nächsten Generation von Mikro-Positionierwerkzeugen.

Lösungen für Anwendungsbereiche

Piezosystem Jena Corporate Office

Willkommen in der präzisen Welt von piezosystem jena

Als weltweiter Hersteller von hochpräzisen Piezoprodukten besitzt piezosystem jena mehr als 30 Jahre Erfahrung. Durch den privatwirtschaftlichen Hintergrund liegt der Fokus auf der Entwicklung kundenspezifischer Lösungen für Industrie- und Forschungsanwendungen. In Zusammenarbeit mit führenden OEMs aus den Bereichen Halbleiter, Photonik, Messtechnik, Luft- und Raumfahrt sowie der Automobilindustrie hat piezosystem jena Systeme entwickelt, die extreme Präzision, hohe Krafterzeugung und stabile Hochfrequenzbewegungen erreichen können.

seit 1991

Experten für die Entwicklung und Herstellung von Nanopositionierern

Forschung & Entwicklung

Kenntnisse der Piezotechnologie aus der Interaktionen als Berater und hauseigener Forschung

weltweit

Vertreter für piezotechnische Produkte in über 25 Ländern

Events & News

21.10.2022 / Event

ASPE - American Society for Precision Engineering

Datum: 10. - 14.10. 2022 Ort: Hyatt Regency, Bellevue, Washington Repräsentant piezosystem jena, Inc. and SIOS: Yuri Toegemann , Tel: +1-508-634-6688 https://aspe.net/

20.10.2022 / Event

Lasertagung 2022

Datum: 3.-4.11.2022 Ort: Ernst Abbe University Jena Carl Zeiß - Promenade 2 Jena, Germany

19.10.2022 / Event

Semicon Europa 2022

Datum: 15.11. - 18.11.2022 Ort: Trade Fair Center Messe München, Germany Stand: B1 268 https://www.semiconeuropa.org/

Vertretungen weltweit