MIPOS 600 SG – Beschreibung

Das MIPOS 600 SG bietet einen Nanopositionier- und Scanbereich von bis zu 600 µm im Open-Loop-Betrieb und 500 µm im Closed-Loop-Betrieb. Er kann mit Objektiven mit einem Durchmesser von bis zu 40 mm verwendet werden.

Das einzigartige Parallelogramm-Design garantiert eine hohe Parallelbewegung ohne Beeinflussung der optischen Achse. Die präzise Wiederholbarkeit der Positionierung des MIPOS 600 SG kann durch das integrierte Messsystem gewährleistet werden. Das Design mit integrierter Vorspannung des Aktors bietet eine hohe Resonanzfrequenz und eine hochparallele Bewegung.

Aufgrund der einzigartigen Eigenschaften des MIPOS 600 SG können schnelle Scanning-Anwendungen mit kurzen Einschwingzeiten präzise realisiert werden.